TEM, APT, XRM

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microPREP
[ Ver 1.0 / 2.0 ]

High-Volume Laser-Based Sample
Preparation for Semiconductor and
Materials Failure Analysis

microPREP 장비는 Ultra-short laser 를 이용한 새로운 기술의 ‘시편 전처리’ 레이저 장비입니다.
FIB 및 TEM, SEM, APT, XRM 등 다양한 샘플을 제작할 수 있으며, 반도체, 금속, 세라믹 및 PCB 등의 대면적 시편의 결점분석 등을 처리할 수 있는 장비
입니다. 사용자가 원하는 영역을 Laser로 빠르게 Cutting 하여 넓은 관찰 영역을 확보할 수 있으며, Pico-second laser 를 이용함으로써 기존 레이저
장비에서 문제가 되었던 Heat damage 로 인한 손상문제를 최소화하여 패키징 및 결점 분석, 다층 Layer 분석, Bulk 및 복합소재의 분석 등 다양한
용도로 활용할 수 있습니다. 또한, 진공이 필요하지 않은 장비로써 대기시간이 필요치 않으며, 터치스크린을 통한 자동화 시스템으로 간단한 레시피
설정 후 반복적으로 편리하게 사용할 수 있는 장비입니다. microPREP 2.0 은 FIB 가공 및 첨단 패키징, X 선 현미경 검사, APT 및 micro mechanical testing 등의
SEM 분석에 적합합니다.

Highlights of microPREP

  • FIB와 비교하여 10,000 배 이상 빠른 처리 속도
  • CoO 의 발생 억제에 최적화
  • 높은 자동화 처리 능력 : Recipe control system, 사용자 친화적 UI
  • Pico-second Laser 를 이용한 Heat damage 최소화
  • mm 단위의 넓은 범위의 샘플을 micron 단위의 정확도로 가공이 가능
  • 복잡한 3D 입체 (TSVs, SiP) 샘플을 만들 수 있습니다.

microPREP- System Description

Workpiece size · Up to 50 x 50 x 20 mm3
Alignment · Work piece alignment with optical measurement system
Positioning
  • · Process accuracy ± 0.003 mm (XY)
  • · Customized motion concept
Fixtures
  • · Fixtures included : Cutting, Thinning, XL-Chunk (manual)
  • · Fixtures optional : mXL, XRM2, Utility fixture
Processes
  • · TEM : grids, chunks, thinning of lamellas
  • · Failure Analysis and SEM-Inspection : box milling, line cutting, multiple forms and amounts, ramps
  • · X-Ray Microscopy and APT : grids, chunks, custom shapes, pillars
  • · Patterning : custom shapes
Laser unit
  • · Integrated pulsed DPSS laser source
  • · Galvanometer scanner
  • · Power measurement on sample level
Software
  • · Software driven workflows
  • · Recipe based process control
  • · Intuitive menu guided touch screen operation
  • · Multiple user concept by different user levels
  • · Integrated data and sample management
Safety
  • · Laser class 1 housing with integrated control panel
  • · Integrated exhaust system
Dimensions · Desktop system : 980 x 700 x 759 mm3 (L x W x H), approx. 200 kg
Consumables · Compressed air or inert gases : up to 250 l/min (max. 6 - 10 bar)
Electrical connection
  • · 230 V, 50/60 Hz, 8 A
  • · 110 V, 50/60 Hz, 16 A
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