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Laser Micromachining Systems for
Processing Glass and Sapphire

3D-Micromac‘s microSHAPETM FSLA laser system은 *FSLATM (Flow Supported Laser Ablation) 기술을 통해Glass 또는
Sapphire 기반의 Sample을 높은 정확도로 Drilling 하거나 Structuring 하는데 적합한 장비 입니다. 고도의 Laser flexible system을 통해 Glass 또는
Sapphire wafer를 2인치에서 8인치 까지 처리할 수 있으며, Display glasses의 bore holes, micro channel 뿐만 아니라 복잡한 마이크로 단위의
구조물까지 우수한 품질로 공정 가능한 장비입니다.

microSHAPE FSLA offers

  • Integration of picosecond or femtosecond laser source
  • Various optical setups suitable for glass processing
  • Up to 2 parallel beam paths for simultaneous processing
  • Quick change of work piece clamping unit
  • User-friendly, flexible, upgradeable system control
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